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发布时间:2020-10-22 08:00:29
离化PVD技术通过将成膜材料高度电离化形成膜材料离子,从而增加膜材料离子的沉积动能,并使之在高化学活性状态下沉积薄膜的技术,包括离子镀、离子束沉积和离子束辅助沉积三类。
离化PVD过程大多是蒸发/溅射(气相物质激发)与等离子体离化过程(赋能、)的交叉结合。
蒸发镀膜是依靠源材料的晶格振动能克服逸出功,从而形成沉积粒子的热发射,即:外加能量(电阻/电子束/激光/电弧/射频)赋予材料较高的晶格振动能,使其克服固有的逸出功逸出粒子。而溅射是依靠高能离子输入动能,借助源材料中粒子间的弹性碰撞,致使更高动能粒子逸出。离化PVD 是以其它手段激发沉积物质粒子,然后使之与高度电离的等离子体交互作用(类似 PECVD),促使沉积粒子离化,使之既可被电场加速而获得更高动能,同时在低温状态下具有高化学活性。
不锈钢基材真空物***相沉积镀工艺,生产“黄金卷”
这种钢卷以不锈钢为基材,通过PVD(真空物***相沉积镀工艺)制造成所需颜色,该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域,可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。日常生活中以手表的外壳、表带为常见,另外就是家电、装饰材料等。
PCVD的工艺装置由沉积室、反应物输送系统、放电电源、真空系统及检测系统组成。气源需用气体净化器除往水分和其它杂质,经调节装置得到所需要的流量,再与源物质同时被送进沉积室,在一定温度和等离子体等条件下,得到所需的产物,并沉积在工件或基片表面。所以,PCVD工艺既包括等离子体物理过程,又包括等离子体化学反应过程。
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