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郭先生 先生
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发布时间:2020-01-27 10:33:21
气相沉积设备PCVD技术具有沉积温度低,沉积速率快,绕镀性好,薄膜与基体结合强度好,设备操纵维护简单等优点,用PCVD法调节工艺参数方便灵活,轻易调整和控制薄膜厚度和成份组成结构,沉积出多层复合膜及多层梯度复合膜等优质膜,同时,PCVD法还拓展了新的低温沉积领域,例如,用PCVD法可将TiN的反应温度由CVD法的1000℃降到200~500℃,用PCVD法制备纳米陶瓷薄膜的特点是:产品的杨氏模量、抗压强度和硬度都很高,耐磨性好,化学性能稳定,性和腐蚀性好,有较高的高温强度。
气相沉积设备
以下是制备的必要条件:
① 在沉积温度下,反应物具有足够的蒸气压,并能以适当的速度被引入反应室;
② 反应产物除了形成固态薄膜物质外,都必须是挥发性的;
③ 沉积薄膜和基体材料必须具有足够低的蒸气压。
CVD技术是作为涂层的手段而开发的,但不只应用于耐热物质的涂·层,而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个颇具特征的技术领域,其工艺成本具体而定。
直流等离子体化学气相沉积(DC-PCVD)
DC-PCVD是利用高压直流负偏压(-1~-5kV),使低压反应气体发生辉光放电产生等离子体,等离子体在电场作用下轰击工件,气相沉积设备厂商,并在工件表面沉积成膜。
直流等离子体比较简单,小型气相沉积设备,工件处于阴极电位,受其外形、大小的影响,使电场分布不均匀,在阴极四周压降,电场强度,正由于有这一特点,所以化学反应也集中在阴极工件表面,气相沉积设备公司,加强了沉积效率,新北气相沉积设备,避免了反应物质在器壁上的消耗。缺点是不导电的基体或薄膜不能应用。由于阴极上电荷的积累会排斥进一步的沉积,并会造成积累放电,***正常的反应。
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