东莞拉奇纳米(图)-化学气相沉积设备厂家-化学气相沉积设备

真空纳米镀膜机设备的主要用途

(1)各种功能性薄膜：如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如，低温沉积氮化硅减反射膜，化学气相沉积设备，以提高太阳能电池的光电转换效率。

(2)装饰领域的应用，如各种全反射膜及半透明膜等，如手机外壳，鼠标等。

(3) 在微电子领域作为一种非热式镀膜技术，主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机

(4)化学气相沉积(MOCVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积，而且可以获得大面积非常均匀的薄膜。

磁控溅射除上述已被大量应用的领域，还在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用。

化学气相沉积设备腔室维护完毕后，开始抽真空，抽真空的时间为36～48小时，期间在腔室真空达到一定程度时，进行真空测漏，真空测漏没有问题并且腔室真空达到工艺条件后，就可以进行生产准备了。维护之前的破空（从真空状态回到大气状态）需要 2 个小时，之后再对所有需要吊装的阴极及泵舱吹水之后就可以进行舱室维护了。

化学气相沉积设备生产特点来看，腔室中所有设备部件的检查、维修要集中在舱室维护期间进行，化学气相沉积设备厂家，并且要保证这些装置工作的可靠性，金属化学气相沉积设备，否则，化学气相沉积设备报价，如果在正常生产期间出现问题，仅仅腔室破空和抽气就需要 40 多个小时，对生产的影响巨大。

塑料薄膜采用真空镀膜的方法加镀铝等金属膜，再进行染色，可得到用于工业中的装饰品薄膜。

近年来，建筑工业上玻璃镀膜已经十分盛行，因为这种不但可以美化建筑物，而且可以节约能源，这是因为在玻璃上镀上反射膜可以使低纬度地区房屋避免炎热的阳光直射到室内，而节省空调费用。玻璃上镀滤光膜和低辐射膜，可使阳光射入，而作为室内热源的红外辐射又不能通过玻璃辐射出去，这在高纬度地区也可以达到保温节能的目的。

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