等离子化学气相沉积设备-化学气相沉积设备-拉奇纳米(查看)

如果真空镀膜设备持续不断的使用了6个月以上，小型化学气相沉积设备，真空镀膜设备的抽速就会有明显的变慢，那怎样去维护呢？本文主要讲诉了对真空镀膜设备长时间运行后的要点。

首先，必须要冲入大气，拆去连接水管，将一级喷嘴拧出来，再用将泵腔以及泵胆清洗一下，再使用洗衣粉兑清水再清洗一次，待水份挥发干后，等离子化学气相沉积设备，装好泵胆，有机金属化学气相沉积设备，重新加入新扩散的泵油并装回机体重新开机。真镀膜设备在重新开机时要特别注意捡漏工作，先观察扩散泵部分是否达到6*10PA，否则需要进行检漏。检查连接处是否密封，或压坏密封圈。排除漏气隐患后才可以加热，否则扩散泵油会烧坏导致无法进入到工作状态。

化学气相沉积设备一般真空室内漏气都是从室壁上的小孔或者部件之前的链接位细缝中产生，当抽风系统抽气后使真空室内压力下降，外部与内部的压力使气体从压力高的外部流向压力低的真空室，造成真空度下降。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的，化学气相沉积设备，造成真空度下降的原因很多，所以要解决这些原因稳定镀膜的效果。

当真空镀膜设备抽泵连续工作一个月的时候，我们需要重新更换新油，将泵油内的旧油完全排放出来然后加入新的泵油至一定量。

真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。

为了提高镀层厚度的均匀性，真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置，如用行星运动方式，这种运动方式成膜均匀性好，台阶覆盖性能良好，镀件装载量大，可以充分利用真空镀膜室的有效空间，是目前经常采用的运动方式。