等离子化学气相沉积-化学气相沉积-拉奇纳米镀膜

国内外实践证明，大功率电子枪是钢带连续真空镀膜工艺的理想热源。这是因为

（1）电子枪发射的电子束经聚焦后可达到极高的能量密度，轰击坩埚镀膜材料，化学气相沉积，可使其温度达到3000℃以上，远比电弧温度高。

（2）电子束能量转化率高达80%-90%，采用磁偏转系统可以方便地进行电子束聚焦和扫描，加热均匀。

（3）电子束只轰击镀膜材料表面，不会由于其它材料的掺入而引起夹杂问题。

（4）电子枪蒸发镀膜机使用时的束斑直径、电功率、加束电压、扫描轨迹、频率等参数都容易实现调节。

（5）使用电子枪还可以在钢带镀膜生产过程中对被镀钢带进行真空预热，就是使用电子枪清洁钢带，轰击表面使其活化。通过电子束不停的扫描，钢带表面温度控制在200~550℃，这种预热是钢带镀膜和提高镀膜附着力所必须的。

Parylene用于硅橡胶产品的优点:

良好的干润滑特性

优异的疏水性能

优异的隔离性能

耐摩擦磨损、保护表面标识

表面光滑、不沾纤维、污垢

耐溶胀性良好

耐压缩性好

温度适用范围广

持久长寿命

可承受常规消毒

优良的内孔表面改

派瑞林不仅绝缘防锈性能好而且生物相容性也好，它已通过美国FDA 论证，cvd化学气相沉积，满足美国药典生物材料VI类标准，被列为是一种可以在体内长期植入使 用的生物材料。随着生物电子科学的不断进步和发展，应用范围愈加广泛。

真空磁控阴极溅射法：平板玻璃在具有高真空的真空腔体内，处在负电压的两极间的工作气体正离子在正交电磁场的作用下飞向阴极，在很短的阴极位降区内获得很大的能量去迅速轰击靶材，从而使阴极(靶材)原子飞向玻璃基片--玻璃沉积膜层，溅射出的二次电子(此过程称γ过程)在电磁场作用下按旋轮线运动参与碰撞电离，蟹衍载流子，这样就能源源不断地轰击阴极，低压化学气相沉积，提供足够数量的正离子，形成的等离子区使持续辉光放电，其可以一次完成多层镀膜，有着的膜层均匀性，的边缘复盖和良好的附着力。镀膜有着优于和区别于其它真空磁控溅射镀膜机的地方是：它的平面磁控靶上的磁场是由环形磁铁产生的，可将半园环形磁铁看成是无限T微扇柱状磁铁的组合 。所以，其相应点磁标势较稳定，才能生产出均匀牢固的镀膜层。