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发布时间:2020-09-29 17:03:14
CVD法具有如下特点:可在大气或低于大气压下进行沉积金属、合金、陶瓷和化合物涂层,能在形状复杂的基体上或颗粒材料上沉积涂层。涂层的化学成分和结构较易准确控制,也可制备具有成分梯度的涂层。
涂层与基体的结合力高,设备简单操作方便,但它的处理温度一般为900-1200℃,工件被加热到如此高的温度会产生以下问题:
(1)工件易变形,心部***恶化,性能下降。
(2)有脱碳现象,晶粒长大,残留奥氏体增多。
(3)形成ε相和复合碳化物。
(4)处理后的母材必须进行淬火和回火。
(5)不适用于低熔点的金属材料。
关于PVD工艺,常见的气态表面涂覆方法是蒸发和溅射。这些技术允许在非常低的压力下从目标中提取颗粒,光学镀膜设备价格,然后将其沉积并沉积到基板上。
蒸发过程中使用的反应器需要高真空压力值。通常,真空镀膜设备批发,这些特征和参数具有较低的原子能和较少的气体吸附到涂层沉积物中。结果,与溅射技术相比,具有较大晶粒的颗粒的转移导致公认的较小的颗粒对基底的粘附性。在沉积过程中,镀膜设备,一些污染物颗粒从熔化的涂料中释放出来并移动到基材上,从而降低了所得涂层的纯度。因此,尽管与溅射工艺相比,真空镀膜设备厂,该技术具有更高的沉积速率,但是蒸发工艺通常用于具有较低表面形态要求的较厚的薄膜和涂层。
薄膜(比如铱和铂薄膜)之所以引起人们的兴趣是因为它们具有良好的性能 、高的电导率 、很强的催化活性以及很好的稳定性等 。这些性能使得薄膜在电极材料 、微电子 、固态燃料电池和气敏元件等许多领域存在广泛的应用。
在CVD处理过程中,尺寸变形小的材料是硬质合金及含Cr高的不锈钢系合金;冲压加工领域使用的模具材料主要限于合金工具钢、冷作模具钢(Cr12MoV)、硬质合金等,其中快冷淬透钢,由于快冷时容易产生翘曲、扭曲等变形,所以不宜进行CVD处理;而高速钢是热处理膨胀较大的钢种,使用时必须充分估计其膨胀变形量。
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